DuPont™ Kalrez® 9100

Dành cho plasma tăng cường lắng đọng hơi hóa học (PECVD)/ lắng đọng lớp nguyên tử (ALD)/ lắng đọng hơi hóa học plasma mật độ cao (HDPCVD) và ứng dụng ăn mòn dây dẫn.

Thông tin kỹ thuật

DuPont ™ Kalrez® 9100 là một sản phẩm màu hổ phách trong suốt, được sản xuất riêng cho PECVD, ALD, HDPCVD và ăn mòn dây dẫn (nhựa/ kim loại). Kalrez® 9100 được thiết kế riêng biệt cho ăn mòn thấp và tạo phân tử cực thấp trong những môi trường plasma khắc nghiệt. Sản phẩm cung cấp sự ổn định nhiệt tuyệt vời, rò khí cực thấp cũng như độ đàn hồi tuyệt vời, tính chất cơ học mạnh mẽ và phù hợp với cả ứng dụng niêm phong tĩnh và động. Nhiệt độ hoạt động tối đa là 300 ° C (572 ° F). Làm sạch tinh khiết cuối cùng và đóng gói là tiêu chuẩn cho tất cả bộ phận của Kalrez® 9100.

Tính chất vật lý tiêu biểu

Tính năng/ Lợi ích

• Xói mòn thấp và tạo phân tử cực thấp trong oxy và plasma gốc flo.

• Độ kháng tuyệt vời trong quy trình hóa học khô.

• Độ bền nhiệt tuyệt hảo.

• Tính chất rò khí và thành phần kim loại cực thấp

• Độ đàn hồi tuyệt vời và thuộc tính nén thấp.

Ứng dụng đề xuất

• Gioăng ống nạp ga/lỗ khí.

• Gioăng nắp buống.

• Gioăng van độc lập.

• Gioăng van trượt.

Tạo phân tử.

Nguyên liệu gioăng FFKM thông thường chứa carbon đen/hoặc khoáng chất. Những sản phẩm mới hơn không được cầu thành hoặc làm từ polyme. Tính kháng plasma có thể tương đối khác nhau, tùy thuộc vào loại nguyên liệu tạo thành. Nếu nguyên liệu có tính kháng cao với plasma như BaSO4, TiO2, v…v… , nó có thể bảo vệ chất đàn hồi để giảm thiểu ăn mòn hoặc nhẹ đi, nhưng có khả năng tạo phân tử bằng cách rơi lại những hạt riêng rẽ sau khi polymer bị ăn mòn. Các sản phẩm chứa và không chứa đầy polyme về cơ bản không chứa yếu tố nào khác ngoài carbon, flo và oxy, những chất hoàn toàn bay hơi khi bị ăn mòn, do đó làm giảm đáng kể khả năng ô nhiễm. Biểu đồ 1 thể hiện lượng hạt tương dối của DuPont™ Kalrez® 9100 so với nano-silica và sản phẩm FFKM chứa đầy oxit kim loại trong các ứng dụng plasma khác nhau.

Fab chọn Kalrez® 9100 vì hiệu suất được cải thiện.

Kalrez® 9100 được báo cáo đã cải thiện đáng kể việc sản xuất tấm lát trong nhiều quy trình bán dẫn khác nhau, nơi mà khí ga được sử dụng trong suốt chu kỳ làm sạch. Một số đánh giá của khách hàng tại Fabline, Kalrez® 9100 thể hiện khả năng ăn mòn thấp hơn tạo phân tử thấp hơn và tuổi thọ gioăng dài hơn so với những loại gioăng khác ở cả ứng dụng niêm phong tĩnh và động.

Báo cáo trường hợp #5903 – Chu kỳ PM kéo dài gấp 3 lần tại trụ sở Fabline

• Fabline đã kéo dài chu kỳ PM từ 60 thành 180 ngày.

• Không có dấu hiệu của ăn mòn, rò rỉ, hư hỏng cơ học hoặc nén sau 180 ngày hoạt động.

• Thiết bị hoạt động – Novellus hai động cơ.

• Quá trình – HDPCVD / STI.

• Hóa chất phản ứng – SiH4, He, O2.

• Hóa chất tẩy rửa – NF3 ở 4000 Watts.

• Vị trí gioăng – Cửa van khe, buồng phân phối ga, mặt bích MESC, van ụ độc lập, bộ tăng áp, nắp vòm.

Báo cáo trường hợp #6376 – Chu ký Pm được cải thiện gấp 2 lần tại Fabline Châu Âu

• Fabline đã mở rộng chu kỳ PM từ 30.000 thành >55.000 cặp tấm lát.

• Không có dấu hiệu ăn mòn, hư hỏng cơ học, nén hoặc biến dạng ở mép gioăng.

• Thiết bị hoạt động – Ứng dụng nguyên liệu sản xuất thấp-K.

• Quá trình – PECVD/ Cacbonado.

• Hóa chất phản ứng – C3H10Si (TMS), O2.

• Hóa chất tẩy rửa – NF3 thông qua nguồn plasma.

• Vị trí gioăng – Cửa cống VAT MONOVAT.

Báo cáo trường hợp #6441 – PM trội hơn mục tiêu tại trung tâm nghiên cứu chính tại Châu Âu.

• Không có/ rất ít bằng chứng về ăn mòn hoặc xuống cấp sau khi xử lý 5,000 tấm lát (biểu đồ 2).

• Trung tâm nghiên cứu đang tiến hành thử nghiệm lượng hạt thực tế tối đa.

• Thiết bị hoạt động – Ứng dụng vật liệu Centura Ultima.

• Quá trình – HDPCVD / STI.

• Hóa chất phản ứng – SiH4, He, O2.

• Hóa chất tẩy rửa – NF3 ở 3000 oát.

• Vị trí gioăng – Gia công thô gioăng đầu máy tiện, đầu vòi lắp ráp gioăng chữ O.

Báo cáo trường hợp # 6738 – Chu kỳ PM kéo dài gấp 3 lần ở trụ sở Fabline Mỹ.

• Fabline đã kéo dài chu kỳ PM từ 400 lên 1200 giờ thực tế.

• Không có dấu hiệu xuống cấp hoặc nứt sau 1200 giờ hoạt động.

• Thiết bị hoạt động – Thiết bị TCP – 9600 tập đoàn Lam research.

• Quá trình – ăn mòn kim loại và kháng dải/tro.

• Hóa chất phản ứng – Cl2, BCl3, hơi nước.

• Hóa chất làm sạch – Plasma O2 (làm sạch cặn tro sau mỗi tấm lát).

• Vị trí gioăng – Gioăng tùy chỉnh cho mỗi van khe mở.

Báo cáo trường hợp # 10376 – Chu kỳ PM kéo dài gấp 2 lần ở Fabline AP.

• Fabline đã kéo dài chu kỳ PM từ 27.000 lên 54.000 tấm lát.

• Không có dấu hiệu ăn mòn, nứt hoặc nén sau khi xử lí 54.000 tấm lát.

• Thiết bị hoạt động – Ứng dụng nguyên liệu sản xuất SE.

• Quá trình – PECVD.

• Hóa chất phản ứng – TMS, O2, He, Ar.

• Hóa chất làm sạch – NF3.

• Vị trí gioăng – Nắp lắp ráp.

Bảo hành các sản phẩm gioăng Kalrez

• Chỉ áp dụng cho các sản phẩm thuộc gioăng chính hãng của Dupont được phân phối chính hãng ở Việt Nam.

• Tất cả các sản phẩm gioăng Kalrez đều được bảo hành nếu máy hư hỏng do lỗi của nhà sản xuất.

• Khách hàng có nhu cầu bảo hành, bảo trì sản phẩm, vui lòng liên hệ cho Achilles, số điện thoại chăm sóc khách hàng: 098 469 4884 (Ms.Đức).

• Achilles là đơn vị cung cấp chính hãng của dòng và các sản phẩm liên quan đến gioăng Kalrez DuPont.

• Để được báo giá bán lẻ, đặt mua số lượng lớn và tư vấn về thông tin sản phẩm vui lòng liên số máy 098 469 4884 (Ms.Đức) qua email info@achilles.com.vn hoặc website https://achilles.com.vn/.