DuPont™ Kalrez® cho ứng dụng quá tình nhiệt trong ngành công nghiệp bán dẫn- Semiconductor
Các bộ phận perfluoroelastomer DuPont™ Kalrez® đã được sử dụng thành công trong các môi trường yêu cầu làm kín có tính ăn mòn cao trong hơn 40 năm. Các bộ phận Kalrez® có độ ổn định hóa học và nhiệt tuyệt vời và đã được chế tạo và xử lý đặc biệt để đáp ứng các yêu cầu riêng biệt của môi trường xử lý wafer. Các miếng đệm DuPont Kalrez® có sẵn ở dạng vòng chữ O tiêu chuẩn và tùy chỉnh, cũng như các hình dạng tùy chỉnh, đáp ứng các yêu cầu khắt khe của quá trình xử lý wafer trong môi trường nhiệt. Một quy trình siêu sạch độc quyền và xử lý phòng sạch là tiêu chuẩn cho tất cả các sản phẩm Kalrez® được sử dụng trong Ngành công nghiệp bán dẫn.
Bảng sau đây cung cấp công cụ nhanh chóng và dễ dàng để lựa chọn các bộ phận Kalrez® tùy thuộc vào loại quy trình sản xuất:
Ứng dụng điển hình của Kalrez trong quá trình nhiệt trong ngành công nghiệp bán dẫn:
- Phớt buồng thạch anh
- Vòng trung tâm
- Phụ kiện
- Quá trình đóng rắn điện môi thấp
Các sản phẩm Kalrez®cho ứng dụng nhiệt trong công nghiệp bán dẫn
Kalrez® 8900
| Các bộ phận Kalrez® 8900 dành cho các ứng dụng oxy hóa, khuếch tán, ALD và LPCVD. Nó cung cấp độ ổn định nhiệt vượt trội, thoát khí rất thấp và các đặc tính nén tuyệt vời (thấp). Các bộ phận Kalrez® 8900 thể hiện khả năng giữ lại các đặc tính vật lý tuyệt vời ở nhiệt độ cao, có độ bền cơ học tuyệt vời và phù hợp cho cả ứng dụng bịt kín tĩnh và động.
|
 |
Kalrez® 8575
| Các bộ phận Kalrez® 8575 được phát triển cho các ứng dụng oxy hóa, khuếch tán, làm kín RTP. Các bộ phận Kalrez® 8575 thể hiện tính ổn định nhiệt tuyệt vời và hiệu suất bịt kín lâu dài, ít hấp thụ tia hồng ngoại(IR) và giảm đáng kể các đặc tính thoát khí ở nhiệt độ cao.
Nó cũng có đặc tính cơ học tốt và phù hợp cho cả ứng dụng tĩnh và ứng suất thấp/lực bịt kín thấp.
|
 |
| Kalrez® 7075UP | |
| Các bộ phận Kalrez® 7075UP nhắm mục tiêu cụ thể đến các ứng dụng CVD kim loại. Chúng cung cấp độ ổn định nhiệt vượt trội, thoát khí rất thấp và các đặc tính nén tuyệt vời. Kalrez® 7075UP thể hiện khả năng giữ lực niêm phong tuyệt vời, có các đặc tính cơ học tốt và phù hợp cho cả ứng dụng niêm phong tĩnh và động. |  |
| Kalrez® 9600
Các bộ phận Kalrez® 9600 được thiết kế cho các ứng dụng chân không có độ tinh khiết cao, nhiệt độ cao, trong đó các phớt tiếp xúc với các gốc plasma Fluorine và Oxygen gây hại. Nó có tỷ lệ xói mòn cực thấp và giảm trọng lượng do sự tấn công của plasma và có khả năng chống hóa chất tuyệt vời đối với Amoniac, Ozone và Hơi nước. Khả năng phục hồi vượt trội của nó trong quá trình nén và thoát khí cực thấp ở điều kiện nhiệt độ cao khiến nó đặc biệt phù hợp cho các ứng dụng mà độ tinh khiết là tối quan trọng, chẳng hạn như các quy trình lắng đọng lớp nguyên tử tăng cường plasma và lắng đọng hơi hóa học. |
 |
Đặc tính điển hình của sản phẩm
Tính chất vật lý điển hình
Liên hệ
Achilles là đơn vị cung cấp chính hãng của dòng và các sản phẩm liên quan đến gioăng Kalrez DuPont.
Để được báo giá bán lẻ, đặt mua số lượng lớn và tư vấn về thông tin sản phẩm vui lòng với chúng tôi theo Hotline: 090 194 3684 hoặc 098 469 4884 (Ms.Đức) qua email info@achilles.com.vn hoặc website https://achilles.com.vn/.
————————————————————————————————————————————————————————–
CÔNG TY TNHH ACHILLES (ACHILLES COMPANY LIMITED)
Văn phòng giao dịch: Tầng 5, Toà Machinco 1, Số 10 Trần Phú, Phường Mộ Lao, Quận Hà Đông, TP Hà Nội, Việt Nam
***Hotline: Ms. Đức – 090 194 3684
***Email: info@achilles.com.vn
***Fanpage: https://www.facebook.com/achillesvn