DuPont™ Kalrez® 6375UP

Để biến những vật liệu bán dẫn thô thành những thiết bị hữu dụng đòi hỏi hàng trăm công đoạn xử lí hoá học. Nhiều công đoạn quan trọng liên quan tới những hóa chất mạnh như axit,dung môi và bazo được dùng để làm sạch, rửa, ăn mòn và bóc tách hết nguyên liệu không mong muốn và chất gây ô nhiễm bề mặt nước. Những hóa chất này có thể tấn công các niêm phong dẻo, gây ra lồi và xuống cấp hoặc làm rò rỉ các chất kim loại và ion, làm ảnh hưởng tới chức năng tĩnh điện của vi mạch.

Danh mục: Từ khóa: ,

Mô tả

Tối ưu hiệu quả và giảm thiểu chi phí cho ứng dụng bán dẫn.

Để biến những vật liệu bán dẫn thô thành những thiết bị hữu dụng đòi hỏi hàng trăm công đoạn xử lí hoá học. Nhiều công đoạn quan trọng liên quan tới những hóa chất mạnh như axit,dung môi và bazo được dùng để làm sạch, rửa, ăn mòn và bóc tách hết nguyên liệu không mong muốn và chất gây ô nhiễm bề mặt nước. Những hóa chất này có thể tấn công các niêm phong dẻo, gây ra lồi và xuống cấp hoặc làm rò rỉ các chất kim loại và ion, làm ảnh hưởng tới chức năng tĩnh điện của vi mạch.

Xu hướng về các tấm lát lớn hơn, vi mạch nhỏ hơn và cặn ít hơn đang nhấn mạnh sự cấp thiết của việc tối thiểu hoặc loại bỏ tận gốc các quá trình gây ra tạp chất. Các nhà sản xuất hóa chất và thiết bị đang cố gắng hết sức để tối thiểu khả năng có tạp chất, việc có thể dẫn đến lỗi chip.

DuPont đã phát triển một số sản phẩm chống lại sự ăn mòn hóa học đó, được xây dựng thành hệ thống để giảm thiểu các tạp chất không mong muốn. Sản phẩm mới nhất trong bộ sưu tập của chúng tôi, DuPont™ Kalrez® 6375UP sở hữu sự cân bằng tuyệt vời về các đặc tính hiệu suất cần có, phù hợp với môi trường bán dẫn ướt.

Loại quy trình Loại hóa chất Tầm nhiệt DuPont™ Kalrez® 6375UP DuPont™ Kalrez® 4079UP DuPont™ Kalrez® 1050UP
Sản xuất vật liệu nền, tẩy rửa UPDI, nước Deion ozon hóa, TCE, IPA, axeton, SC-1, SC-2, HF (49%), O3 25-125 Hợp chất đề xuất Thích hợp thay thế Tham khảo bộ phận kĩ thuật
Ăn mòn nước HNO3/Hydro florua/H20 H3PO4/HNO3/Axit axetic/H20 H3PO4/HNO3/HF/H20,H3PO4 25–180 Hợp chất đề xuất Thích hợp thay thế Tham khảo bộ phận kĩ thuật
Phát triển quang khắc, tước, rửa H2SO4 + Axit Axit sulfuric 25–125 Hợp chất đề xuất Thích hợp thay thế Tham khảo bộ phận kĩ thuật
Natri hiđroxit, dung môi Xylene, dung môi N-Methylpyrrolidone, NMP 25–125 Hợp chất đề xuất Thích hợp thay thế Tham khảo bộ phận kĩ thuật
dung môi N-Methylpyrrolidone, NMP, Dimethyl sulfoxide, MEA DMAC, Hydroxylammonium Chloride 25–125 Hợp chất đề xuất Tham khảo bộ phận kĩ thuật Thích hợp thay thế
Mạ đồng CuSO4 Solution H2SO4, H2O2 UPDI, Citric Acid 25–100 Hợp chất đề xuất Thích hợp thay thế Tham khảo bộ phận kĩ thuật

Chú ý: Xếp hạng sản phẩm dựa trên sự kết hợp giữa khả năng kháng hóa chất và khả năng phân rã. Trong những ứng dụng mà độ phân rã không phải là bài toán sống còn, có thể ứng dụng được nhiều sản phẩm. Để được hỗ trợ thêm, xin liên hệ với đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi.

DuPont ™ Kalrez® cung cấp khả năng chống hóa chất vượt trội.

Trong nhiều ứng dụng, mức độ đàn hồi thấp có tính quyết định tới việc vận hành trơn tru. Quá nhiều chất đàn hồi phình ra có thể làm mềm vật liệu, tưa, đùn,v…v.. làm thiết bị hỏng trước hạn. Trong khi những thí nghiệm vật lý có thể cần thiết để xác định hiệu suất hoạt động của sản phẩm trong các trường hợp cụ thể, thì mức độ phình ra của chất đàn hồi đã được ghi nhận là tiêu chí vượt trội về khả năng kháng hóa chất của chất dẻo với 1 số chất lỏng cụ thể. Những dữ liệu dưới đây thay cho một bảng tóm tắt các cuộc thí nghiệm nội bộ và công khai được thực hiện để xác định độ phồng của các sản phẩm được đề xuất trong các môi trường bán dẫn ướt được dẫn tại bảng sau:

Hóa chất ngâm

Điều kiện phơi nhiễm Độ phồng
DuPont™ Kalrez® 6375UP DuPont™ Kalrez® 4079UP

DuPont™ Kalrez® 1050UP

Nước Deion ozon hóa

Dung dịch Piranha

SC-1

SC-2

Hydrogen fluoride

Amoni hydroxit

85 °C, 30 ngày

25 °C, 30 ngày

25 °C, 30 ngày

25 °C, 30 ngày

25 °C, 30 ngày

100 °C, 7 ngày

0.7

0.1

0.6

0.1

2.8

2.6

2.3

0.1

1.1

0.1

0.6

9.8

5.5

0.1

0.6

0.2

1.8

không thử

Axit sunfuric

Axit nitric

Axit phosphoric/ axetic/ nitric

Axit Flohydric

Axit vô cơ, axit nitric và nước

120 °C, 30 ngày

85 °C, 7 ngày

60 °C, 28 ngày

60 °C, 28 ngày

60°C, 28 ngày

1.3

2.1

1.0

0.0

5.0

0.8

1.5

1.0

1.0

6.0

2.8

không thử

không thử

không thử

không thử

Dung môi N-Methylpyrrolidone

Dimethyl Acetamide

80 °C, 7 ngày

80 °C, 7 ngày

2.0

2.4

2.4

4.0

3.2

4.4

ACT 690C

ACT-NP870

ACT 935

ACT NE-14

ACT CMI

95 °C, 10 ngày

80 °C, 10 ngày

80 °C, 10 ngày

25 °C, 10 ngày

80 °C, 10 ngày

1.5

2.0

1.6

0.0

2.7

7.9

6.2

5.1

0.0

6.5

2.0

2.0

1.8

0.3

5.2

EKC265

EKC830

EKC4000 PCT

75 °C, 7 ngày

75 °C, 7 ngày

75 °C, 7 ngày

1.0

3.1

0.7

2.8

10.0

1.7

0.7

10.1

2.5

PRS-1000

PRS-3000

ALEG™310

REZI 28

95 °C, 10 ngày

80 °C, 10 ngày

80 °C, 10 ngày

80 °C, 10 ngày

1.5

2.0

1.6

2.7

7.9

6.2

5.1

6.5

2.0

2.0

1.8

5.2

Chú ý: Các giá trị về độ phình trên nên được sử dụng tương đối như một hiệu suất tương thích. Mức độ phình nói chung <10% là thỏa mãn yêu cầu.

Kiểm soát chất ô nhiễm với Kalrez®

Thiết bị bán dẫn dễ bị ô nhiễm bởi nhiều loại hóa chất gây ô nhiễm, bao gồm hóa chất vi lượng (ion âm và carbon hữu cơ – TOCs), các ion âm và hạt.

Ô nhiễm hóa chất (ion âm và TOCs).

Hai trong số các nguồn gây ô nhiễm chính trong quy trình bán dẫn là các nguyên tố vi lượng trong các hóa chất không mong muốn (anion) và các chất ô nhiễm hữu cơ (TOCs). Xử lý hóa chất và nước có thể gây ô nhiễm và cản trở quá trình sản xuất miếng bán dẫn. Clo (tức ion clorua) là một chất gây ô nhiễm và được kiểm soát chặt chẽ trong quá trình xử lý hóa chất. Trong các hệ thống UPDI, TOCs có thể bám chặt vào bề mặt miếng bán dẫn và gây ảnh hưởng xấu tới chất lượng oxit hoặc chất lượng phim.

Niêm phong dẻo có thể là một nguồn gây ra chất ô nhiễm này. DuPont đã phát triển những sản phẩm làm tối thiểu khả năng ô nhiễm hóa học và hữu cơ.

Ion clorua phân rã sau khi ngâm trong nước UPDI trong 1 tháng ở 85 ° C
Tổng lượng carbon bị oxy hóa sau khi ngâm trong nước UPDI trong 1 tháng ở 85 ° C

Ô nhiễm ion kim loại

Xử lý hóa chất có thể gây ra rò rỉ ion kim loại từ những nguyên liệu niêm phong. Những ion kim loại này, tùy thuộc vào loại và chất lượng, có thể làm biến đổi tính dẫn điện và gây ra lỗi vận hành cho thiết bị. Bên dưới là bảng tổng hợp số lượng chiết xuất kim loại sau khi ngâm vòng chữ O trong các quy trình tẩy rửa và quy trình hóa chất chuẩn bị miếng bán dẫn. DuPont™ Kalrez® 6375UP có độ cân bằng tuyệt vời của kháng hóa chất và độ phân rã kim loại thấp trong nhiều quá trình lỏng.

Tổng lượng kim loại phân rã bởi ICP-MS

Tính chất vật lý tiêu biểu

Sản phẩm Kalrez® Màu sắc Độ cứng, máy đo cứng A (phương pháp ASTM D2240) Độ cứng, máy đo cứng M (phương pháp ASTM D2240 và ASTM D1414) Nhiệt độ hoạt động tối đa Cảm biến áp suất (100%) (phương pháp ASTM D412) Độ nén (%) 70 tiếng ở 204°C (400°F) (phương pháp ASTM D395)
6375UP Đen 75 83 275 7.23 25
4079UP Đen 75 83 316 7.23 25
1050UP Đen 82 288 12.40 35

Bảo hành các sản phẩm gioăng Kalrez

• Chỉ áp dụng cho các sản phẩm thuộc gioăng chính hãng của Dupont được phân phối chính hãng ở Việt Nam.

• Tất cả các sản phẩm gioăng Kalrez đều được bảo hành nếu máy hư hỏng do lỗi của nhà sản xuất.

• Khách hàng có nhu cầu bảo hành, bảo trì sản phẩm, vui lòng liên hệ cho Achilles, số điện thoại chăm sóc khách hàng: 098 213 2184 (Ms.Đức).

• Achilles là đơn vị cung cấp chính hãng của dòng và các sản phẩm liên quan đến gioăng Kalrez DuPont.

• Để được báo giá bán lẻ, đặt mua số lượng lớn và tư vấn về thông tin sản phẩm vui lòng liên số máy 098 213 2184 (Ms.Đức) qua email info@achilles.com.vn hoặc website https://achilles.com.vn/.

Trả lời

Email của bạn sẽ không được hiển thị công khai. Các trường bắt buộc được đánh dấu *